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臺積電:加入日本國家項目“尖端半導體制造技術開發”

發布日期:2022.04.24

據日經中文網4月20日消息,近日,全球最大半導體代工企業臺積電(TSMC)加入日本國家項目“尖端半導體制造計劃開發”。


據悉,日本于2021年正式啟動該項目,目標是“把半導體制造技術留在日本”。項目由日本產業技術綜合研究所、東電電子、佳能、TSMC日本3DIC研究開發中心、先端系統技術研究組合等機構參與,預計五年內提供760億日元經費。臺積電在日本的研究基地“TSMC日本3DIC研發中心”計劃與日本共同開發半導體制造中的三維后工序技術“3DIC”。

 

據悉,該項目是日本新能源產業技術綜合開發機構(NEDO)從2019年度開始推進的部分業務。項目以擁有最先進潔凈室的產業技術綜合研究所為基地,該研究所位于茨城縣筑波市,企業和大學在這里研發邏輯半導體的制造技術。

 

半導體制造工藝分為“前工序”和“后工序”,前者是指在硅基板上使用曝光設備等形成電路的工序,后者是指分割后進行組裝的工序。該項目也按照這兩種工序設定了研究課題,二者共同的關鍵詞是“三維(3D)”。

 

具體來看,前工序方面,該項目致力于開發被稱為“納米片”的最先進元器件技術,有消息認為2025年以后3D納米片型將成為主流。后工序方面,該項目將確立縱向堆疊電路的技術。需要注意的是,三維集成化是打破“摩爾定律”極限的有力技術。先進封裝近來受到較大關注,尤其是硅通孔技術,3D集成將縱向堆疊芯片,利用晶圓級封裝和硅通孔等先進封裝技術,以達到提高性能的目的。


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